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SMH 系列自動(dòng)匹配器
SMH 系列自動(dòng)匹配器
SMH 系列自動(dòng)匹配器 SMH 系列自動(dòng)匹配器

SMH 系列自動(dòng)匹配器

SMH 系列自動(dòng)匹配器是一款高精度、高速響應(yīng)的阻抗匹配設(shè)備，精準(zhǔn)契合半導(dǎo)體工藝高速發(fā)展的核心需求。產(chǎn)品內(nèi)置高精度采集系統(tǒng)，搭載業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的智能匹配算法，實(shí)現(xiàn)匹配過程快速、穩(wěn)定、精準(zhǔn)控制；支持自動(dòng)與手動(dòng)兩種控制模式，具備優(yōu)異的運(yùn)行可靠性，可適配半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛工況。該系列產(chǎn)品廣泛適用于離子刻蝕、去膠、PECVD 等低溫等離子體發(fā)生設(shè)備，全面滿足主流半導(dǎo)體工藝對(duì)阻抗匹配的嚴(yán)苛要求。

Features

主要特點(diǎn)

全數(shù)字化控制系統(tǒng)
01
豐富的人機(jī)交互接口
02
內(nèi)置高精度VI Sensor
03
智能快速匹配算法
04
高速高精度測(cè)量系統(tǒng)
05
支持Web可視化監(jiān)測(cè)
06
展開全部

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