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SMH 系列自動匹配器
SMH 系列自動匹配器
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SMH 系列自動匹配器

SMH 系列自動匹配器是一款高精度、高速響應的阻抗匹配設備，精準契合半導體工藝高速發展的核心需求。產品內置高精度采集系統，搭載業內領先的智能匹配算法，實現匹配過程快速、穩定、精準控制；支持自動與手動兩種控制模式，具備優異的運行可靠性，可適配半導體行業嚴苛工況。該系列產品廣泛適用于離子刻蝕、去膠、PECVD 等低溫等離子體發生設備，全面滿足主流半導體工藝對阻抗匹配的嚴苛要求。

Features

主要特點

全數字化控制系統
01
豐富的人機交互接口
02
內置高精度VI Sensor
03
智能快速匹配算法
04
高速高精度測量系統
05
支持Web可視化監測
06
展開全部

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