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SRF系列射頻電源
SRF系列射頻電源
SRF系列射頻電源 SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源采用數(shù)模混合控制及高精測量技術(shù)，固定頻率輸出，輸出功率具備寬范圍、高精度、高可靠性及高穩(wěn)定性等特點；標(biāo)配CEX同步，可選配單級脈沖功能，滿足多種工藝需求，輔助完成更高的工藝穩(wěn)定性和控制。可廣泛應(yīng)用于光伏、面板、半導(dǎo)體行業(yè)、科研、制造業(yè)等領(lǐng)域，適用ETCH、PECVD等工藝設(shè)備。

Features

主要特點

?數(shù)模混合控制架構(gòu)
01
?靈活的控制模式配置
02
高精度測量系統(tǒng)
03
快速CEX相位同步
04
?豐富的人機交互接口
05
高可靠性射頻輸出
06
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