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SMF系列中頻濺射電源
SMF系列中頻濺射電源
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SMF系列中頻濺射電源

SMF系列中頻濺射電源，可實現(xiàn)輸出直流、直流脈沖、雙極性方波、雙極性梯形波等波形。可應用于PVD、PECVD和反應濺射等各種真空鍍膜工藝，在太陽能電池、半導體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜等行業(yè)都有廣泛應用。

Features

主要特點

輸入PFC整流，電流諧波小，功率因數(shù)高
01
機架式模塊化設計
02
輸出兩路電氣隔離，可獨立輸出
03
豐富的輸出波形種類及波形編程功能
04
輸出恒壓、恒流、恒功率三種模式可選，自動切換
05
輸出儲能低，＜0.3mJ/kW
06
多種電弧檢測機制及智能弧管理控制功能
07
電弧響應速度快，＜1μs
08
豐富的控制接口，配備顯示屏，操作便捷
09
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